每经编写：毕陆名

据中电科大数据产业集团公司有限责任公司官方网站CEC中电科信息，前不久，中电科主打产品中国长城郑州轨道交通出行信息科技研究所和河南省通用性智能装备有限责任公司，历经一年，科研开发，研制在我国第一台半导体激光隐形晶圆切割机，弥补中国空白页。该机器设备在重要技术参数上处在国际性领先地位，意味着在我国半导体激光隐形晶圆切割技术性获得实际性重大进展，对进一步提高在我国智能装备生产制造工作能力具备划时代的实际意义。

高档智能装备是国之重器，是加工制造业的根基，尤其是半导体材料行业内高档智能装备，在社会经济发展趋势中具备至关重要的功效。晶圆切割是半导体封测加工工艺中必不可少的重要工艺流程，据了解，与传统式的切割方法对比，激光器切割归属于非接触式生产加工，能够 防止对晶体硅表层导致损害，而且具备加工精度高、生产加工高效率高等学校特性，能够 大幅度提高芯片生产生产制造的品质、高效率、经济效益。

半导体激光隐形晶圆切割机根据选用材料、独特总体设计、独特健身运动服务平台，能够 完成生产加工服务平台在髙速健身运动时维持高可靠性、高精密，健身运动速率达到500mm/s，高效率远超海外机器设备。

在电子光学层面，依据单晶硅的光谱仪特点，融合工业生产激光的应用水准，选用了适合的光波长、总输出功率、脉冲宽度和重频的激光发生器，最后完成了隐形切割。

在影象层面，选用不一样像素尺寸、不一样光感应集成ic的照相机，配上不一样作用的摄像镜头，完成了商品轮廊鉴别及高倍、中倍和超高的水准调节。另外还配用了同轴输出影象系统软件，能够 保证切割中实际效果的即时确定和提升，完成最好切割实际效果。

郑州轨道交通出行信息科技研究所创立于2017年，近几年来，紧紧围绕独立安全性工业生产控制板、高端装备制造生产制造和新一代信息科技提升进行科学研究自主创新、技术攻关，被中国长城主打产品企业收购后，科学研究自主创新、工作发展趋势进到新一轮加快增长期。

中国长城在科学研究自主创新中自始至终聚焦点独立安全性和关键技术，该武器装备的取得成功研发是科技人员不顾一切担起中央企业主责，加快处理“卡脖子”难点，争当新时期筑梦人的强有力反映，也是中央企业与民营企业共扛重任、資源相辅相成、集智自主创新，相互处理國家重特大智能装备生产制造发展瓶颈的取得成功楷模。

每日经济新闻报道