集微网信息，此前，沈阳市芯源微电子产品股权公司(下称“芯源微”)生产制造的前道涂胶显影机，根据了中芯北方地区的认证。据沈阳日报报导，这代表摆脱海外垄断性、弥补中国空白页的国内涂胶显影机器设备刚开始大批量推向市场。

芯源微由中国科学院沈阳市自动化所于2002年进行开创，关键从业半导体材料专业设备的产品研发、生产制造和市场销售，商品包含光刻工艺流程涂胶显影机器设备（涂胶/显影机、喷胶机）和片式式湿式机器设备（清洗设备、去胶机、湿式刻蚀机），可用以6英尺及下列多晶硅圆解决（如LED芯片生产制造阶段）及8/12英尺多晶硅圆解决（如集成电路芯片生产制造前道圆晶生产加工之后道优秀封裝阶段）。

4月26日，芯源微公布2019年年报，汇报公布，芯源微生产制造的前道涂胶显影机器设备根据在顾客当场的认证与改善，在好几个核心技术层面获得提升，科技成果已运用到新品、新客户。目前为止，已相继得到了株洲中车、青岛市芯恩、上海市积塔、宁波市中芯、昆明市京东方、厦门市士兰等好几个前道大顾客的订单信息。

据沈阳日报报导，2019年12月16日，芯源微发售科创板上市，变成黑龙江省科创板上市第一股和中国科学院第一家科创板上市公司。（审校/七七）