MEMS传感器是选用微机械加工制造技术性生产制造的新式传感器，是MEMS系统软件的关键支系。MEMS传感器以其出色的特性，如体型小、重量较轻、低成本、功能损耗低、敏感度高、可大批量化生产制造、便于集成化和完成智能化系统等特性，逐渐替代传统式机械设备传感器而占有主导性。现阶段，MEMS传感器关键运用在消费电子产品、汽车电子产品、航天航空、工业控制系统、健康医疗等领域，将来物联网技术产业链将是MEMS传感器运用的关键领域。

MEMS传感器集成ic，材料图

而专利是人们科技进步成效的关键反映，体现了全新发明创造、造就和设计方案。根据对专利数据的分析，能够确立产业链领域的技术性发展趋势现况、该领域内世界各国大型企业产品研发重中之重和关键技术状况。根据专利剖析，能够确立在我国在某一领域内存有的技术性难题，有利于政府部门及公司更强的合理布局。

据了解，获益于汽车电子产品及消费电子产品的发展趋势，在全球范畴内，MEMS传感器专利总数自1997年刚开始持续增长，2000年之后申请办理总数刚开始维持在相对性稳定的情况，而近些年特别是在在2016年之后，MEMS传感器专利总数刚开始显著降低，它是因为MEMS在汽车电子产品及消费电子产品领域的运用已趋向饱和状态，而增加产业链如物联网技术的运用都还没产生经营规模。将来伴随着物联网技术产业链的发展趋势，MEMS传感器将迈入新一轮的发展趋势高峰期。

全世界关键国家（地域）MEMS专利总数占有率状况，材料图

如圖所显示，有科学研究组织对MEMS专利关键国家及地域的剖析后小结称，现阶段，MEMS传感器申请量关键集中化在国外、日本国、我国及世界知识产权组织等。

但是，尽管在我国的专利总数占有全世界第三的部位，可是专利品质较弱，关键专利较少。因而，在我国公司及产品研发组织仍需增加MEMS传感器技术性领域的产品研发幅度及国际性专利的申请办理。

在MEMS专利总数上领跑的前20家企业，材料图

根据对MEMS传感器专利权人的剖析能够看得出，规模以上企业的公司有韩国三星电子、日本国epson、英国应用化学、德国博世等企业，这种企业把握了MEMS传感器的关键技术，并占有全世界MEMS传感器销售市场关键市场份额。

而在我国仅有中国台湾的台积电入选，关键是由于在我国MEMS传感器专利集中化在高等院校、研究室等企业，产业发展水平不高。另外，公司自主研发工作能力基础薄弱，政府部门对MEMS传感器产业链的适用幅度比较有限，这种要素牵制了MEMS传感器的发展趋势。

伴随着近些年中下游运用端发展趋势，MEMS传感器遭受政府部门及公司的高度重视。政府部门以股票基金或新项目的方法在资产或现行政策上根据MEMS传感器的适用，公司也根据回收、企业并购、沟通交流协作等方法合理布局MEMS传感器，如国家集成电路芯片产业链基金投资注资20亿RMB助推耐威科技合理布局8英尺MEMS代工生产线。将来，假如公司可以与高等院校或研究室提升产学研合作，在政府部门全力支持下，有希望进一步抓紧在MEMS传感器领域的合理布局。

将来，MEMS传感器将是物联网技术、智能制造系统、服务机器人、智能医疗及自动驾驶等领域完成的关键标准，伴随着中下游运用的发展趋势，MEMS传感器将迈入发展趋势高峰期。